| 基本信息 |
开放实验室名称 |
北京市准分子激光工程技术研究中心 |
| 类型 |
省部级工程技术研究中心 |
| 认定部门 |
北京市科委 |
认定时间 |
2014年5月 |
| 依托单位 |
中国科学院光电研究院 |
| 所属功能平台 |
装备制造 |
| 所属领域 |
装备制造 |
| 负责人 |
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| 服务特色 |
本中心以极大规模集成电路光刻应用为牵引，面向特种加工、生物医疗等对准分子激光的需求，开展准分子激光系统运转机理、系统设计、单元技术工程化研究，主要包括高压脉冲电源技术、气动流场控制技术、放电动力特性技术、光谱控制技术、深紫外波段激光参数综合检测技术研究，形成准分子激光系统研发综合平台架构，通过委托研发、测试及联合实验等服务措施为相关企事业单位提供准分子激光技术及准分子激光系统综合研发平台支撑；同时开展准分子激光应用技术研究，包括深紫外激光材料表面处理技术、深紫外激光3D 打印技术等，为准分子激光器及其应用的产业化提供支撑。 |
| 科研队伍和骨干专家 |
现有工程技术人才队伍约 40 人，年龄结构搭配合理，专业设置齐备，满足研发所需的激光技术、电子技术、机械结构、光学设计、控制技术等相关技术及工程化需求。 |
| 科研成果 |
当前研发工作主要针对高压气体放电激励条件下的激光辐射过程，良好绝缘器件和电子学器件的加工制造是研发成功的关键。研发工作的开展已经带动了国内诸如高端陶瓷制备、精密磁芯加工、复杂过程控制、系统集成、特种光学材料应用等多个研发领域的技术革新，具有重大的直接经济效益和社会效益。 中心通过光刻光源研发工作的开展在国内首次实现了高重复频率（4kHz）、窄线宽（0.35pm）及大能量（ 5mJ）条件下的满足高端光刻需求的准分子激光系统运转，是国内唯一具备光刻光源系统研制能力的单位。 主要成果： 1、高端准分子光源原理样机研制 通过研发工作的开展，实现了高重复频率、窄线宽、大能量三项标志高端准分子光源特性的核心关键技术突破，形成了具有系统理念的光源设计研发能力，为高端准分子光源系统的综合研发和后续制造及产业化推广奠定了扎实的基础。 2、高端准分子光源核心关键技术突破 已攻克高重频准分子激光运转技术技术、极窄激光光谱控制技术、大功率精准同步准分子激光放大技术等核心关键技术，通过委托研发、测试及联合实验等服务措施为相关企事业单位提供以下服务： （1）深紫外波段激光参数综合检测 （2）高重频大能量快速脉冲电源设计、开发 （3）极窄激光光谱控制 （4）高精度大量程（在线）能量测量 （5）高精度（在线）光谱检测 （6）ppm级气体成分调控 （7）气动流场设计及控制 （8）腐蚀气体环境下材料钝化 （9）高损伤阈值光学元件制备 （10）放电动力学仿真 （11）光学系统设计及装调、检测 （12）准分子激光系统设计、集成、检测 （13）相干长度控制激光系统设计、开发 产业化情况： 以当前光刻光源系统研发工作及相关成果为基础，面向市场需求和典型应用积极推进光源系统研发的产业化。 1、已注册北京国科虹源光电技术有限公司（简称：国科虹源）， 2、专业从事准分子激光光源的研发工作； 3、已在亦庄经海产业园租用3500平方米场地用于准分子激光光源的相关产业化运作。目前已完成场地的装修和改造方案设计 ，正在进行工程承建的招投标工作； 4、同步全面梳理产品开发及生产工艺流程，规划产线架构； 5、面向光源产品开发，全力推进光源系统在可靠性设计、可维护性设计和工业设计等方面的相关工作。 专利情况： 申请国际发明专利3项（其中1项国际发明在韩国获得授权），申请国内发明专利62项（其中15项发明专利获得授权）。 |
| 代表仪器设备 |
名称1： | 激光器系统 | 原值（万元） | 2904.10 | 厂商及型号： | 俄罗斯普通物理研究所物理仪器中心，PIC-GPI | 主要性能 参数： | 193nm | 功能用途： | 激光光源 |
名称2： | LTB光谱仪 | 原值（万元） | 183.41 | 厂商及型号： | 德国LTB公司，ELIAS-III | 主要性能 参数： | 193nm激光光源适用 线宽精度：±22fm | 功能用途： | 光谱检测 |
名称3： | LTB绝对波长测量光谱仪 | 原值（万元） | 72.03 | 厂商及型号： | 德国LTB公司，基于ELIAS型改造 | 主要性能 参数： | 193nm激光光源适用 波长精度： ±100fm@193.368nm | 功能用途： | 光谱检测 |
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| 专业服务机构名称 |
北京科岳中科科技服务有限公司 |
| 负责人 |
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联系人 |
张利军、孟月娟 |
电话 |
18611890039 |
| 邮箱 |
zhanglj@cashq.ac.cn |
邮编 |
100086 |
| 地址 |
北京海淀中关村保福寺桥100号 |
