基本信息 |
开放实验室名称 |
传感技术国家重点实验室(北方基地) |
类型 |
国家重点实验室 |
认定部门 |
科技部 |
认定时间 |
1987年 |
依托单位 |
中科院电子学研究所 |
所属功能平台 |
物联网产业技术支撑平台 |
所属领域 |
电子信息 |
负责人 |
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服务特色 |
实验室面向国家战略需求和世界科技前沿,以基于微电子和微机械加工技术的微传感器和系统作为主要研究方向,开展基础性、战略性、前瞻性的研究工作。 实验室致力于提高我国传感技术的自主创新能力和国际竞争力,推动我国传感技术的应用和产业的发展,为国民经济建设服务,并建设我国传感技术的研究基地和高素质、高水平传感技术人才的培养基地。 实验室现有面积3500多平方米,其中1000平米超净间,拥有一条完整的微电子机械系统(MEMS)加工工艺线,具有先进的工艺和测试设备,形成了一整套加工工艺规范,具备各种微传感器和执行器的加工能力。 传感技术国家重点实验室(北方基地)经过二十余年的建设和奋斗,在微纳传感器及微系统的研究中获得巨大进展,取得了突出成绩,逐步形成了以基于微纳加工技术的微传感器和微系统为主要创新方向的研究特点,具有电子学、信息技术、生物技术、化学、材料科学等多学科交叉的综合优势,并已成为国内外广泛认可、具有一定国际影响力和较强竞争力的传感技术研究基地,同时形成了具有一流人才与完整学术梯队以及先进仪器设备与科研条件的国家级研究基地。 实验室可对外开放,可以提供各种基于MEMS技术的微结构器件的设计、加工及测试服务,或合作开展相关的研究。 |
科研队伍和骨干专家 |
目前,实验室共有在编工作人员40多人,其中研究员8名,副研究员12名;具有博士学位的占职工总数的近70%。在读研究生约100人。实验室有973首席科学家2名,中科院**计划人才1名。 |
科研成果 |
实验室已研制出一批具有特色的高水平传感器及系统,如 1、电场传感器及系统,可用于静电场的探测,雷电预警等; 2、SPR生化分析仪、生物传感器及系统,可用于生化无标记分析,分子动力学研究等; 3、气体传感器及系统,可用于危化品的监测等 4、微流控芯片系统,可用于生物医学分析检验等 5、集成气象传感器,高精度压力传感器、可用于气象环境探测等; 6、微惯性传感器,可以用于导航灯; 7、体感无线传感器网络,可以用于人体健康监测等。 实验室具有雄厚的研究基础和很强的技术攻关与自主创新能力,近年来,平均每年申请国家发明在20项以上,获授权10多项。 |
代表仪器设备 |
名称1: | ICP深刻蚀系统 | 原值(万元) | 350万 | 厂商及型号: | Alcatel AMS100SE | 主要性能 参数: |
| 功能用途: | 硅片干法刻蚀 |
名称2: | 多功能镀膜系统 | 原值(万元) | 250万 | 厂商及型号: | Kurt J. Lesker AXXIS | 主要性能 参数: | 磁控溅射、电子束蒸发等 | 功能用途: | 各种金属薄膜 |
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专业服务机构名称 |
北京科岳中科科技服务有限公司 |
负责人 |
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联系人 |
张利军、孟月娟 |
电话 |
18611890039 |
邮箱 |
zhanglj@cashq.ac.cn |
邮编 |
100086 |
地址 |
北京海淀中关村保福寺桥100号 |