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基本信息 开放实验室名称 集成技术工程研究中心
类型 工程研究中心
认定部门 中国科学院 认定时间 2004年
依托单位 中科院半导体研究所
所属功能平台 高性能集成电路(IC)技术支撑平台
所属领域 电子信息
负责人 杨富华
服务特色 集成技术中心是一个公共的半导体工艺技术平台,拥有半导体所近一半的新增工艺设备。主要面向所里的科研工作,提供各种工艺技术加工服务。服务领域包括硅基和化合物光电子器件和结构,化合物半导体器件以及MEMS器件的加工和工艺测试工作。 在为研究所的各个课题组提供半导体工艺技术服务的同时也在利用相关资源为大学、研究机构和企业提供工艺技术服务。充分发挥公共资源的社会效益。
科研队伍和骨干专家 目前有29名成员,包括6位研究员、5位副研究员。现有研究生和博士后20余人。
科研成果 中心不断提高半导体工艺技术的水平和能力,满足研究所发展的科学技术需求;重点开发国家重大战略需求和国民经济发展需求的关键信息技术,促进研究所的快速发展;重点攻克具有潜在市场价值科研成果的关键和可靠性技术,促进成果的快速转化;面向所内外开放,建成国际一流的人才培养、研发及合作交流中心。此外实验室着重于通过实验与理论的密切结合,五年来发表文章约150篇,申请专利8项。
代表仪器设备

 名称

电子束曝光机

原值(万元)

817

厂商及型号

Raith 150

主要性能参数

SEM分辨率:2nm、最小线宽:50nm、

拼接精度:20 nm

功能用途

制作纳米(>50nm)的图形。用于各种微器件的制作,如:微电子器件,光电子器件,生物传感器,微机件,超导电子学器件,磁电子学器件等,也是研究材料在低维度,小尺寸小的量子行为的重要手段。

专业服务机构名称 北京科岳中科科技服务有限公司
负责人 联系人 张利军、孟月娟 电话 18611890039
邮箱 zhanglj@cashq.ac.cn 邮编 100086
地址 北京海淀中关村保福寺桥100号