| 基本信息 |
开放实验室名称 |
中科院半导体材料科学重点实验室 |
| 类型 |
中科院重点实验室 |
| 认定部门 |
中国科学院 |
认定时间 |
1990年 |
| 依托单位 |
中科院半导体研究所 |
| 所属功能平台 |
高性能集成电路（IC）技术支撑平台 |
| 所属领域 |
新材料 |
| 负责人 |
王占国 |
| 服务特色 |
实验室面向国家重大需求，围绕国际半导体材料科学前沿和要解决的关键科学与技术问题，开展半导体材料与器件应用基础性研究。重点研究低维半导体结构材料（量子阱、量子线和量子点材料）、光电功能集成芯片材料、宽禁带半导体材料、半导体光伏材料、半导体纳米团簇材料、自旋电子材料、特种薄膜材料以及空间微重力等特殊条件下制备材料的生长工艺、结构性能和光、电、磁学等性质，探索、研制新型半导体材料，发展材料制备新技术；研制新型量子器件、光电功能集成器件、高温大功率电子器件和高效太阳电池；为提高我国半导体材料与器件的创新能力和在国际相关领域的学术地位，以及发展我国信息技术产业和可再生能源产业做出贡献。 |
| 科研队伍和骨干专家 |
半导体材料科学国家重点实验室现有固定人员46人，其中科研人员32人，技术支撑人员13人，管理人员1人。科研人员包括两位中科院院士，17名研究员和13名副研究员。实验室现有博士和硕士研究生80人，博士后3人。 |
| 科研成果 |
实验室着重于通过实验与理论的密切结合，五年来发表文章约450篇，申请专利20项，在半导体器件、材料、材料物理等相关领域取得了重要进展。 |
| 代表仪器设备 |
名称 | 磁控共溅射设备 | 原值（万元） | 590.00 | 厂商及型号 | 美国Kurl J Lesker Company(KJLC)公司，Lab18 | 主要性能参数 | 本底真空：<10-8 Torr； 四个靶枪：3个RF电源（KJLC自动匹配 300W RF电源），1个DC电源（Advanced Energy 500W DC源）；薄膜厚度均匀性：4英寸样品均匀性+/-5% | 功能用途 | 可用于纳米功能材料以及多周期薄膜材料的制备 |
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| 专业服务机构名称 |
北京科岳中科科技服务有限公司 |
| 负责人 |
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联系人 |
张利军、孟月娟 |
电话 |
18611890039 |
| 邮箱 |
zhanglj@cashq.ac.cn |
邮编 |
100086 |
| 地址 |
北京海淀中关村保福寺桥100号 |
